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國產(chǎn)EUV,光刻廠的方案可行么? | [2023/12/14 9:28:26] |
新聞資訊-IT業(yè)界-新聞 — 01、“光刻廠”只是開路先鋒從原理上來看,產(chǎn)生極紫外光有3種方式,分別是同步輻射、電子放電產(chǎn)生等離子體、激光驅(qū)動(dòng)產(chǎn)生等離子體,根據(jù)這三種原理,目前EUV光源有四種可能的實(shí) 全文 | |
國產(chǎn)EUV,光刻廠的方案可行么? | [2023/12/14 9:28:26] |
新聞資訊-IT業(yè)界-新聞 — 01、“光刻廠”只是開路先鋒從原理上來看,產(chǎn)生極紫外光有3種方式,分別是同步輻射、電子放電產(chǎn)生等離子體、激光驅(qū)動(dòng)產(chǎn)生等離子體,根據(jù)這三種原理,目前EUV光源有四種可能的實(shí) 全文 | |